Головная страница ИПМ Библиотеки, издания  •  Поиск публикаций  English 
Публикация

№ 51, Москва, 2012 г.
Авторы: Ким Д.А., Новиков В. Г., Долголева Г. В., Кошелев К.Н., Соломянная А.Д.
Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной in-line в программу радиационной газодинамики
Аннотация:
Построена модель нестационарной неравновесной излучающей плазмы с учетом поуровневой кинетики и переноса излучения в спектральных линиях. Проведено моделирование разлета и излучения сферической мишени в результате воздействия на нее лазерного импульса. Реализовано численное решение уравнений двухтемпературной 1D-газодинамики в лагранжевой форме. Поле излучения и поуровневая кинетика учитываются самосогласованным образом с применением двух методик: с использованием интерполяции между заранее рассчитанными таблицами спектральных данных и путем включения кинетики in-line в г/д расчет. Получены оценки эффективности конверсии в EUV-излучение для плазмы лития и олова. Данная задача имеет важное прикладное значение для EUV-литографии, применяемой при производстве микрочипов. Полученные результаты для эффективности конверсии при оптимальных параметрах лазерного импульса составляют для лития ~ 1% и для олова ~ 5%, что находится в согласии с экспериментальными данными.
Ключевые слова:
Детальная поуровневая кинетика, перенос излучения, уравнения радиационной газодинамики, экстремальный ультрафиолет
Язык публикации: русский, страниц: 23
Направление исследований:
Математическое моделирование в актуальных проблемах науки и техники
Полный текст: Сведения об авторах:
  • Ким Дмитрий Андреевич,  ИПМ им. М.В. Келдыша РАН
  • Новиков Владимир Григорьевич,  ,  ИПМ им. М.В. Келдыша РАН
  • Долголева Галина Владимировна,  ,  ИПМ им. М.В. Келдыша РАН
  • Кошелев К.Н.
  • Соломянная Анна Дмитриевна,  ИПМ им. М.В. Келдыша РАН