Головная страница ИПМ Библиотеки, издания  •  Поиск публикаций  English 
Публикация

, Москва, 2012
Источник:
Сборник ''Физические и математические модели плазмы и плазмоподобных сред'', Москва, 2012
Авторы: Змиевская Г. И., Бондарева А.Л.
Стохастические кинетические модели и алгоритмы в задачах оптимизации нанесения тонких пленок карбида кремния
Аннотация:
В данной работе приводятся примеры численного моделирования образования порошков карбида кремния в плазме разряда и на поверхности субстрата Si(100). Анализируется создание условий для твердофазной эпитаксии пленок карбида кремния на кремниевом субстрате. Результаты могут быть использованы для оптимизации процесса создания покрытий с заданными свойствами, для контроля однородности и скорости нанесения и однородности тонкой пленки.
Язык публикации: русский, страниц: 13
Направление исследований:
Математическое моделирование в актуальных проблемах науки и техники
Полный текст: Сведения об авторах:
  • Змиевская Галина Ивановна,  ИПМ им. М.В. Келдыша РАН
  • Бондарева Анна Леонидовна,  ИПМ им. М.В. Келдыша РАН