Головная страница ИПМ Библиотеки, издания  •  Поиск публикаций  English 
Публикация

№ 92, Москва, 2007 г.
Авторы: Меженный М.В., Гребенников В.А., Кульбацкий Е.Б.
Автоматизированный комплекс для измерения макронапряжений в кремниевых деталях
Аннотация:
В настоящей работе представлены: методика измерения макронапряжений поляризационно-оптическим методом с применением электрооптического модулятора-компенсатора; описание автоматизированного комплекса измерения напряжений в монокристаллических материалах прозрачных для ближнего инфракрасного излучения и примеры его использования для контроля микромеханических систем.
Язык публикации: русский, страниц: 11
Направление исследований:
Программирование, параллельные вычисления, мультимедиа
Полный текст:
  (PDF)
Сведения об авторах:
  • Меженный М.В.
  • Гребенников В.А.
  • Кульбацкий Е.Б.