Головная страница ИПМ Библиотеки, издания  •  Поиск публикаций  English 
Публикация

№ 48, Москва, 2002 г.
Авторы: Левченко В. Д., Скобочкин А.М.
Структурная диагностика поверхностей с использованием вейвлетов.
Аннотация:
В данной работе представлена методика структурной диагностики поверхностей с развитым рельефом, основанная на использовании корреляционного и вейвлет анализов. Рассмотрены 4 образца, полученные методом ионной имплантации ионов кобальта Co+ в приповерхностный слой кремния при различных дозах облучения. К ним применена разработанная методика. На основе полученных результатов сделаны выводы о регулярности характерных структур для каждого образца.
Язык публикации: русский
Направление исследований:
Математическое моделирование в актуальных проблемах науки и техники
Полный текст:
  (TEX)
Сведения об авторах:
  • Левченко Вадим Дмитриевич,  ,  ИПМ им. М.В. Келдыша РАН
  • Скобочкин А.М.